基本信息:
- 专利标题： ELECTROSTATIC CHUCK
- 专利标题（中）：静电卡
- 申请号：US13869285 申请日：2013-04-24
- 公开(公告)号：US20130235507A1 公开(公告)日：2013-09-12
- 发明人： Kenichiro AIKAWA , Morimichi WATANABE , Asumi JINDO , Yuji KATSUDA , Yosuke SATO , Yoshinori ISODA
- 申请人： NGK INSULATORS, LTD.
- 申请人地址： JP Nagoya City
- 专利权人： NGK Insulators, Ltd.
- 当前专利权人： NGK Insulators, Ltd.
- 当前专利权人地址： JP Nagoya City
- 优先权： JP2010-238999 20101025; JP2011-135313 20110617; JPPCT/JP2011/069491 20110829
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683
摘要：
Electrostatic chucks (1A to 1F) are provided with: susceptors (11A to 11F) having an attracting surface (11a) that attracts and holds semiconductors; and electrostatic chuck electrodes (4) that are embedded in the susceptors. The susceptors are provided with plate-shape bodies (3) and surface corrosion-resistant layers (2) that face the attracting surface. The surface corrosion-resistant layer (2) is made from a ceramic material having magnesium, aluminum, oxygen and nitrogen as main components, the ceramic material having, as a main phase, an MgO—AlN solid solution crystal phase obtained by dissolving aluminum nitride in magnesium oxide.
摘要（中）：
静电吸盘（1A〜1F）设有：具有吸引并保持半导体的吸附面（11a）的感受体（11A〜11F） 和静电吸盘电极（4）。 基座设有板状体（3）和面向吸引面的表面耐腐蚀层（2）。 表面耐腐蚀层（2）由具有镁，铝，氧和氮的陶瓷材料作为主要成分，陶瓷材料以MgO-AlN固溶体结晶相为主要成分，所述MgO-AlN固溶体结晶相通过将氮化铝 在氧化镁中。
公开/授权文献:
- US09184081B2 Electrostatic chuck 公开/授权日：2015-11-10