基本信息:
- 专利标题： CHARGED PARTICLE ENERGY FILTER
- 专利标题（中）：充电颗粒能量过滤器
- 申请号：US13601818 申请日：2012-08-31
- 公开(公告)号：US20130112890A1 公开(公告)日：2013-05-09
- 发明人： N. William Parker , Wesley Hughes
- 申请人： N. William Parker , Wesley Hughes
- 申请人地址： US OR Hillsboro
- 专利权人： FEI COMPANY
- 当前专利权人： FEI COMPANY
- 当前专利权人地址： US OR Hillsboro
- 主分类号： H01J3/18
- IPC分类号： H01J3/18
摘要：
A multi-element electrostatic chicane energy filter, with the addition of electrostatic quadrupole and hexapole excitations to the dipole elements. A charged particle energy filter according to the present invention with a combination of dipole, quadrupole, and hexapole elements capable of producing a line focus at an aperture reduces space-charge effects and aperture damage. A preferred embodiment allows the filter to act as a conjugate blanking system. The energy filter is capable of narrowing the energy spread to result in a smaller beam.
摘要（中）：
多元素静电智能能量滤波器，向偶极子元件添加静电四极和六极激发。 根据本发明的具有能够在孔处产生线焦点的偶极子，四极和六极元件的组合的带电粒子能量过滤器减少了空间电荷效应和孔径损伤。 优选的实施方案允许过滤器充当共轭体消隐系统。 能量过滤器能够使能量扩展变窄，导致较小的光束。
公开/授权文献:
- US09111715B2 Charged particle energy filter 公开/授权日：2015-08-18