基本信息:
- 专利标题： MULTI-ANALYZER ANGLE SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY
- 专利标题（中）：多分析仪角度分光光度计
- 申请号：US13541176 申请日：2012-07-03
- 公开(公告)号：US20130010296A1 公开(公告)日：2013-01-10
- 发明人： Hidong Kwak , Ward Dixon , Leonid Poslavsky , Torsten R. Kaack
- 申请人： Hidong Kwak , Ward Dixon , Leonid Poslavsky , Torsten R. Kaack
- 申请人地址： US CA Milpitas
- 专利权人： KLA-TENCOR CORPORATION
- 当前专利权人： KLA-TENCOR CORPORATION
- 当前专利权人地址： US CA Milpitas
- 主分类号： G01J4/00
- IPC分类号： G01J4/00
摘要：
Ellipsometry systems and ellipsometry data collection methods with improved stabilities are disclosed. In accordance with the present disclosure, multiple predetermined, discrete analyzer angles are utilized to collect ellipsometry data for a single measurement, and data regression is performed based on the ellipsometry data collected at these predetermined, discrete analyzer angles. Utilizing multiple discrete analyzer angles for a single measurement improves the stability of the ellipsometry system.
摘要（中）：
公开了具有改进的稳定性的椭偏仪系统和椭偏仪数据采集方法。 根据本公开，使用多个预定的离散分析器角度来收集用于单个测量的椭圆测量数据，并且基于在这些预定的离散分析器角度收集的椭偏仪数据执行数据回归。 使用多个离散分析仪角度进行单次测量可提高椭偏仪系统的稳定性。
公开/授权文献:
- US09046474B2 Multi-analyzer angle spectroscopic ellipsometry 公开/授权日：2015-06-02