发明申请
US20080008834A1 Barrier structure and nozzle device for use in tools used to process microelectronic workpieces with one or more treatment fluids
有权
基本信息:
- 专利标题： Barrier structure and nozzle device for use in tools used to process microelectronic workpieces with one or more treatment fluids
- 专利标题（中）：阻挡结构和喷嘴装置，用于使用一种或多种处理流体处理微电子工件的工具
- 申请号：US11820709 申请日：2007-06-20
- 公开(公告)号：US20080008834A1 公开(公告)日：2008-01-10
- 发明人： Jimmy Collins , David DeKraker , Tracy Gast , Alan Rose
- 申请人： Jimmy Collins , David DeKraker , Tracy Gast , Alan Rose
- 主分类号： B05B1/02
- IPC分类号： B05B1/02 ; B05B17/00 ; B05D1/02 ; B05D1/32
摘要：
The present invention provides a tool for treating microelectronic workpieces with one or more treatment materials, including liquids, gases, fluidized solids, dispersions, combinations of these, and the like.
摘要（中）：
本发明提供了一种用一种或多种处理材料处理微电子工件的工具，包括液体，气体，流化固体，分散体，它们的组合等。
公开/授权文献:
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B05 | 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法 |
| ----B05B | 喷射装置；雾化装置；喷嘴 |
| ------B05B1/00 | 带或不带辅助装置，如阀、加热装置的喷嘴、喷头或其他出口 |
| --------B05B1/02 | .适合于产生特殊形状或性质，如单独小滴的喷流，喷雾或其他排射 |