基本信息:
- 专利标题： Probe for an atomic force microscope and method for making such a probe
- 专利标题（中）：探测原子力显微镜及其制作方法
- 申请号：US10499174 申请日：2002-12-18
- 公开(公告)号：US20050211915A1 公开(公告)日：2005-09-29
- 发明人： Arnout Van den Bos , Leon Abelmann , Jacobus Lodder
- 申请人： Arnout Van den Bos , Leon Abelmann , Jacobus Lodder
- 申请人地址： NL Utrecht 3527 JP
- 专利权人： Stichting voor de Technische Wetenschappen
- 当前专利权人： Stichting voor de Technische Wetenschappen
- 当前专利权人地址： NL Utrecht 3527 JP
- 优先权： NL1019638 20011221
- 国际申请： PCT/NL02/00842 WO 20021218
- 主分类号： G01Q60/50
- IPC分类号： G01Q60/50 ; G01Q60/54 ; G01Q60/56 ; G01R33/038 ; G01T1/04
摘要：
The invention relates to a probe for a magnetic force microscope, comprising a movable cantilever placed in the plane of a wafer and a tip placed substantially at right angles to the cantilever, wherein the cantilever is able to move and its oscillation direction is in the wafer plane, and the tip lies virtually in or parallel to this wafer plane.
摘要（中）：
本发明涉及一种用于磁力显微镜的探针，其包括放置在晶片平面中的可移动悬臂和与悬臂基本成直角放置的尖端，其中悬臂能够移动并且其振荡方向在晶片 平面，并且尖端实际上位于或平行于该晶片平面。