专利标题：
設以提供沖洗流體到基材的瀑布設備、設以沖洗基材的系統、及沖洗基材的方法
专利标题（英）： WATERFALL APPARATUS CONFIGURED TO PROVIDE RINSING FLUID TO SUBSTRATES, SYSTEMS CONFIGURED TO RINSE SUBSTRATES, AND METHODS OF RINSING SUBSTRATES 专利标题（中）： 设以提供冲洗流体到基材的瀑布设备、设以冲洗基材的系统、及冲洗基材的方法
申请号： TW104142355
申请日： 2015-12-16
公开(公告)号： TWI690372B
公开(公告)日： 2020-04-11
发明人：
法蘭柯強納森S
, FRANKEL, JONATHAN S.
, 布朗布萊恩J
, BROWN, BRIAN J.
, 凡西斯切帝文森S
, FRANCISCHETTI, VINCENT S.
, 麥克修保羅
, MCHUGH, PAUL
, 漢森凱爾M
, HANSON, KYLE M.
, 米克海琳全柯伊卡特瑞納
, MIKHAYLICHENKO, EKATERINA
申请人：
美商應用材料股份有限公司
,
APPLIED MATERIALS, INC.
专利权人：
美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
当前专利权人：
美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
代理人：
李世章; 彭國洋
优先权：
62/094,938 20141219;14/626,903 20150219
主分类号：
B08B3/04
IPC分类号：
B08B3/04 B08B3/08 H01L21/02
