基本信息:
- 专利标题： 在半導體腔室中的晶圓旋轉
- 专利标题（英）：WAFER ROTATION IN A SEMICONDUCTOR CHAMBER
- 专利标题（中）：在半导体腔室中的晶圆旋转
- 申请号：TW104106685 申请日：2015-03-03
- 公开(公告)号：TWI673389B 公开(公告)日：2019-10-01
- 发明人： 巴拉蘇拔馬尼安葛尼斯 , BALASUBRAMANIAN, GANESH , 羅莎亞凡利斯君卡洛斯 , ROCHA-ALVAREZ, JUAN CARLOS , 山卡克里西南蘭普拉卡西 , SANKARAKRISHNAN, RAMPRAKASH , 金羅伯特 , KIM, ROBERT , 督波斯道爾R , DU BOIS, DALE R. , 福洛德可比涵 , FLOYD, KIRBY HANE , 班莎阿米古莫 , BANSAL, AMIT KUMAR , 阮段安 , NGUYEN, TUAN ANH
- 申请人： 美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人： 美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： 美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理人： 蔡坤財; 李世章
- 优先权： 61/951,920 20140312
- 主分类号： C23C16/54
- IPC分类号： C23C16/54 ; H01L21/67
公开/授权文献:
- TW201538784A 在半導體腔室中的晶圓旋轉 公开/授权日：2015-10-16