基本信息:
- 专利标题： 用於最佳化產品單元之多階段處理的方法
- 专利标题（英）：A method for optimizing multi-stage processing of product units
- 专利标题（中）：用于最优化产品单元之多阶段处理的方法
- 申请号：TW107108013 申请日：2018-03-09
- 公开(公告)号：TWI668511B 公开(公告)日：2019-08-11
- 发明人： 尼杰 捷樂 , NIJE, JELLE , 伊瑪 亞力山大 , YPMA, ALEXANDER , 吉科魯 迪米特拉 , GKOROU, DIMITRA , 齊羅吉安尼斯 喬吉奧斯 , TSIROGIANNIS, GEORGIOS , 維克 羅伯特 貞 凡 , VAN WIJK, ROBERT JAN , 陳子超 , CHEN, TZU CHAO , 斯菲林 法蘭斯 雷尼爾 , SPIERING, FRANS REINIER , 羅伊 薩拉希 , ROY, SARATHI , 高斯達 席德瑞克 迪賽爾 , GROUWSTRA, CEDRIC DESIRE
- 申请人： 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
- 专利权人： 荷蘭商ASML荷蘭公司,ASML NETHERLANDS B.V.
- 当前专利权人： 荷蘭商ASML荷蘭公司,ASML NETHERLANDS B.V.
- 代理人： 林嘉興
- 优先权： EP17163147 20170327
- 主分类号： G03F1/70
- IPC分类号： G03F1/70 ; G03F1/38 ; G03F1/72 ; G03F7/20
公开/授权文献:
- TW201841051A 最佳化用於產品單元之多階段處理的設備 公开/授权日：2018-11-16