基本信息:

• 专利标题： 用於高產量處理腔室的工藝套件
• 专利标题（英）：Process kit for a high throughput processing chamber
• 专利标题（中）：用于高产量处理腔室的工艺套件
• 申请号：TW104142985 申请日：2015-12-21
• 公开(公告)号：TWI666716B 公开(公告)日：2019-07-21
• 发明人： 葛許卡亞吉特 , GHOSH, KALYANJIT , 古卡霖梅尤G , KULKARNI, MAYUR G. , 巴魯札桑傑夫 , BALUJA, SANJEEV , 祝基恩N , CHUC, KIEN N. , 金晟鎭 , KIM, SUNGJIN , 王彥杰 , WANG, YANJIE
• 申请人： 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.
• 专利权人： 美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
• 当前专利权人： 美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
• 代理人： 李世章; 彭國洋
• 优先权： 62/095,380 20141222;62/156,876 20150504
• 主分类号： H01L21/67
• IPC分类号： H01L21/67 ; H01L21/205

公开/授权文献:

• TW201624594A  用於高產量處理腔室的工藝套件 公开/授权日：2016-07-01

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