基本信息:

• 专利标题： 用於極紫外光之產生之系統及方法
• 专利标题（英）：SYSTEM AND METHOD FOR GENERATION OF EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT
• 专利标题（中）：用于极紫外光之产生之系统及方法
• 申请号：TW103125205 申请日：2014-07-22
• 公开(公告)号：TWI646864B 公开(公告)日：2019-01-01
• 发明人： 畢卡諾維 亞歷山德爾 , BYKANOV, ALEXANDER , 可哈達金 歐雷格 , KHODYKIN, OLEG , 威克 丹尼爾C , WACK, DANIEL C. , 茲古金 康士坦丁 , TSIGUTKIN, KONSTANTIN , 哈爾 雷頓 , HALE, LAYTON , 瓦許 喬瑟夫 , WALSH, JOSEPH , 區利塞 法藍克 , CHILESE, FRANK
• 申请人： 美商克萊譚克公司 ,  KLA-TENCOR CORPORATION
• 专利权人： 美商克萊譚克公司,KLA-TENCOR CORPORATION
• 当前专利权人： 美商克萊譚克公司,KLA-TENCOR CORPORATION
• 代理人： 陳長文
• 优先权： 61/857,231 20130722;14/335,442 20140718
• 主分类号： H05G2/00
• IPC分类号： H05G2/00 ; G03F7/20

公开/授权文献:

• TW201519700A  用於極紫外光之產生之系統及方法 公开/授权日：2015-05-16

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