基本信息:
- 专利标题： 用於製造薄膜封裝之裝置及方法
- 专利标题（英）：APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM ENCAPSULATION
- 专利标题（中）：用于制造薄膜封装之设备及方法
- 申请号：TW102132958 申请日：2013-09-12
- 公开(公告)号：TWI640114B 公开(公告)日：2018-11-01
- 发明人： 許明洙 , HUH, MYUNG-SOO , 李勇錫 , LEE, YONG-SUK , 李正浩 , YI, JUNG-HO , 鄭石源 , JUNG, SUK-WON
- 申请人： 三星顯示器有限公司 , SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
- 专利权人： 三星顯示器有限公司,SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
- 当前专利权人： 三星顯示器有限公司,SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
- 代理人： 陳翠華
- 优先权： 10-2012-0152501 20121224
- 主分类号： H01L51/52
- IPC分类号： H01L51/52 ; H01L51/50 ; H01L27/32 ; C23C16/00
公开/授权文献:
- TW201427138A 用於製造薄膜封裝之裝置及方法 公开/授权日：2014-07-01