基本信息:
- 专利标题： 射頻功率輸送系統
- 专利标题（英）：RADIO FREQUENCY POWER DELIVERY SYSTEM
- 专利标题（中）：射频功率输送系统
- 申请号：TW103103141 申请日：2014-01-28
- 公开(公告)号：TWI632834B 公开(公告)日：2018-08-11
- 发明人： 尼爾森 尼可拉斯 , NELSON, NICHOLAS , 寇姆 大衛J , COUMOU, DAVID J.
- 申请人： 萬機科技股份有限公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
- 专利权人： 萬機科技股份有限公司,MKS INSTRUMENTS, INC.
- 当前专利权人： 萬機科技股份有限公司,MKS INSTRUMENTS, INC.
- 代理人： 許世正
- 优先权： 13/834,786 20130315
- 主分类号： H05H7/02
- IPC分类号： H05H7/02
公开/授权文献:
- TW201436656A 射頻功率輸送系統 公开/授权日：2014-09-16