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专利标题:
揮發性二氫吡嗪基及二氫吡嗪金屬錯合物
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- 专利标题(英):VOLATILE DIHYDROPYRAZINLY AND DIHYDROPYRAZINE METAL COMPLEXES
- 专利标题(中):挥发性二氢吡嗪基及二氢吡嗪金属错合物
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申请号:TW105105739
申请日:2014-07-22
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公开(公告)号:TWI630200B
公开(公告)日:2018-07-21
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发明人:
伊瓦諾夫 塞基 烏拉底米諾維奇
, IVANOV, SERGEI VLADIMIROVICH
, 雷新建
, LEI, XINJIAN
, 諾門 約翰 安東尼 湯馬士
, NORMAN, JOHN ANTHONY THOMAS
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申请人:
慧盛材料美國責任有限公司
,
VERSUM MATERIALS US, LLC
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专利权人:
慧盛材料美國責任有限公司,VERSUM MATERIALS US, LLC
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当前专利权人:
慧盛材料美國責任有限公司,VERSUM MATERIALS US, LLC
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代理人:
陳展俊
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优先权:
61/858,799 20130726;14/329,323 20140711
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主分类号:
C07D241/06
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IPC分类号:
C07D241/06
; C23C16/40
; C23C16/44
; C23C16/52