基本信息:

• 专利标题： 薄膜檢測系統以及薄膜檢測方法
• 专利标题（英）：PELLICLE DETECTING SYSTEM AND PELLICLE DETECTING METHOD
• 专利标题（中）：薄膜检测系统以及薄膜检测方法
• 申请号：TW104139588 申请日：2015-11-27
• 公开(公告)号：TWI628432B 公开(公告)日：2018-07-01
• 发明人： 李雨青 , LEE, YU CHING , 余青芳 , YU, CHING FANG , 林俊宏 , LIN, CHUN HUNG , 秦聖基 , CHIN, SHENG CHI , 許庭豪 , HSU, TING HAO , 張慶祥 , CHANG, CHING HSIANG
• 申请人： 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
• 申请人地址： 新竹市
• 专利权人： 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
• 当前专利权人： 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
• 当前专利权人地址： 新竹市
• 代理人： 洪澄文; 顏錦順
• 优先权： 14/658,399 20150316
• 主分类号： G01N29/12
• IPC分类号： G01N29/12 ; G03F1/84 ; G03F1/82 ; G03F1/62

公开/授权文献:

• TW201634921A  檢測系統以及檢測方法 公开/授权日：2016-10-01

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