基本信息:

• 专利标题： 用於預清洗導電互連結構之方法
• 专利标题（英）：METHODS FOR PRE-CLEANING CONDUCTIVE INTERCONNECT STRUCTURES
• 专利标题（中）：用于预清洗导电互链接构之方法
• 申请号：TW105130420 申请日：2016-09-21
• 公开(公告)号：TWI624024B 公开(公告)日：2018-05-11
• 发明人： 謝祥金 , XIE, XIANGJIN , 劉 鳳全 , LIU, FENG Q. , 姚 大平 , YAO, DAPING , 珍森 亞歷山大 , JANSEN, ALEXANDER , 李正周 , LEE, JOUNG JOO , 艾倫 阿道夫米勒 , ALLEN, ADOLPH MILLER , 唐 先敏 , TANG, XIANMIN , 張 鎂 , CHANG, MEI
• 申请人： 應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.
• 专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
• 当前专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
• 代理人： 李世章; 彭國洋
• 优先权： 62/236,470 20151002;14/958,459 20151203
• 主分类号： H01L23/525
• IPC分类号： H01L23/525

公开/授权文献:

• TW201719844A  用於預清洗導電互連結構之方法 公开/授权日：2017-06-01

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