基本信息:
- 专利标题： 負型感光性矽氧烷組成物、硬化膜之製造方法及硬化膜
- 专利标题（中）：负型感光性硅氧烷组成物、硬化膜之制造方法及硬化膜
- 申请号：TW103105399 申请日：2014-02-19
- 公开(公告)号：TWI611268B 公开(公告)日：2018-01-11
- 发明人： 橫山大志 , YOKOYAMA, DAISHI , 田代裕治 , TASHIRO, YUJI , 野中敏章 , NONAKA, TOSHIAKI , 平原衣梨 , HIRAHARA, ERI , 帕洛斯基 喬治 , PAWLOWSKI, GEORGE
- 申请人： AZ電子材料盧森堡有限公司 , AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S. A. R. L.
- 专利权人： AZ電子材料盧森堡有限公司,AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S. A. R. L.
- 当前专利权人： AZ電子材料盧森堡有限公司,AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S. A. R. L.
- 代理人： 王彥評; 賴碧宏
- 优先权： JP 2013-31345 20130220
- 主分类号： G03F7/075
- IPC分类号： G03F7/075 ; C08G77/04 ; C08K5/3437 ; H01L21/027
公开/授权文献:
- TW201437765A 負型感光性矽氧烷組成物 公开/授权日：2014-10-01