基本信息:

• 专利标题： 用於薄膜量測的方法、裝置及電腦程式產品
• 专利标题（英）：Method, device, and computer program product for film measurement
• 专利标题（中）：用于薄膜量测的方法、设备及电脑进程产品
• 申请号：TW102135883 申请日：2013-10-03
• 公开(公告)号：TWI597475B 公开(公告)日：2017-09-01
• 发明人： 布迪亞多愛德華W , BUDIARTO, EDWARD W. , 伊根陶德J , EGAN, TODD J. , 迪日諾狄米奇A , DZILNO, DMITRY A.
• 申请人： 應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.
• 专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
• 当前专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
• 代理人： 蔡坤財; 李世章
• 优先权： 13/662,330 20121026
• 主分类号： G01B7/06
• IPC分类号： G01B7/06

公开/授权文献:

• TW201423041A  薄膜量測 公开/授权日：2014-06-16

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