基本信息:
- 专利标题: 裝設於半導體廢氣處理設備中的粉塵過濾器
- 专利标题(中):装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器
- 申请号:TW104139499 申请日:2015-11-26
- 公开(公告)号:TWI589343B 公开(公告)日:2017-07-01
- 发明人: 馮五裕 , FENG, WU YU
- 申请人: 東服企業股份有限公司 , ORIENT SERVICE CO., LTD.
- 申请人地址: 臺北市
- 专利权人: 東服企業股份有限公司,ORIENT SERVICE CO., LTD.
- 当前专利权人: 東服企業股份有限公司,ORIENT SERVICE CO., LTD.
- 当前专利权人地址: 臺北市
- 代理人: 沈維揚
- 主分类号: B01D46/10
- IPC分类号: B01D46/10 ; B01D46/42 ; B01D35/16
公开/授权文献:
- TW201718074A 裝設於半導體廢氣處理設備中的粉塵過濾器 公开/授权日:2017-06-01
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
B | 作业;运输 |
--B01 | 一般的物理或化学的方法或装置 |
----B01D | 分离 |
------B01D46/00 | 专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法 |
--------B01D46/10 | .采用具有平表面的滤板、滤片或滤垫的粒子分离器,如聚尘器 |