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专利标题：
具奈米碳管之產線後端的互連件
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- 专利标题（英）：Beol interconnect with carbon nanotubes
- 专利标题（中）：具奈米碳管之产线后端的互连件
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申请号：TW101131591
申请日：2012-08-30
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公开(公告)号：TWI564241B
公开(公告)日：2017-01-01
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发明人：
那瓦卡普萊文K
, NARWANKAR, PRAVIN K.
, 庫茲喬伊格里非斯
, CRUZ, JOE GRIFFITH
, 桑達羅傑艾文德
, SUNDARRAJAN, ARVIND
, 那拉辛哈慕拉里
, NARASIMHAN, MURALI
, 史立卡拉蘇巴拉希米
, SREEKALA, SUBBALAKSHMI
, 普許帕拉傑維多
, PUSHPARAJ, VICTOR
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申请人：
應用材料股份有限公司
,
APPLIED MATERIALS, INC.
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专利权人：
應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
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当前专利权人：
應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
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代理人：
蔡坤財; 李世章
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优先权：
61/529,699 20110831
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主分类号：
B82B3/00
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IPC分类号：
B82B3/00
; B82B1/00
; H01L21/60
