基本信息:
- 专利标题： 靜電夾頭及半導體／液晶製造設備
- 专利标题（英）：Electrostatic chuck and semiconductor/liquid crystal manufacturing equipment
- 专利标题（中）：静电夹头及半导体／液晶制造设备
- 申请号：TW101124751 申请日：2012-07-10
- 公开(公告)号：TWI563583B 公开(公告)日：2016-12-21
- 发明人： 白岩則雄 , SHIRAIWA, NORIO
- 申请人： 新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
- 专利权人： 新光電氣工業股份有限公司,SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
- 当前专利权人： 新光電氣工業股份有限公司,SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
- 代理人： 惲軼群; 陳文郎
- 优先权： 2011-184285 20110826
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67 ; H01L21/68
公开/授权文献:
- TW201310564A 靜電夾頭及半導體／液晶製造設備 公开/授权日：2013-03-01
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/67 | .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置 |