基本信息:
- 专利标题： 真空處理設備
- 专利标题（英）：Vacuum treatment apparatus
- 专利标题（中）：真空处理设备
- 申请号：TW099107570 申请日：2010-03-16
- 公开(公告)号：TWI553765B 公开(公告)日：2016-10-11
- 发明人： 沃瑟 史黛芬 , VOSER, STEPHAN , 多維斯 吉哈德 , DOVIDS, GERHARD
- 申请人： 艾維太克股份有限公司 , EVATEC AG
- 专利权人： 艾維太克股份有限公司,EVATEC AG
- 当前专利权人： 艾維太克股份有限公司,EVATEC AG
- 代理人： 王彥評; 賴碧宏
- 优先权： 61/161,084 20090318
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677
公开/授权文献:
- TW201113972A 真空處理設備 VACUUM TREATMENT APPARATUS 公开/授权日：2011-04-16