基本信息:
- 专利标题： Ｆｅ－Ｐｔ－Ｃ系濺鍍靶
- 专利标题（中）：Ｆｅ－Ｐｔ－Ｃ系溅镀靶
- 申请号：TW101126600 申请日：2012-07-24
- 公开(公告)号：TWI550114B 公开(公告)日：2016-09-21
- 发明人： 佐藤敦 , SATO, ATSUSHI
- 申请人： JX日鑛日石金屬股份有限公司 , JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION
- 专利权人： JX日鑛日石金屬股份有限公司,JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION
- 当前专利权人： JX日鑛日石金屬股份有限公司,JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION
- 代理人： 閻啟泰; 林景郁
- 优先权： JP2011-209493 20110926
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34
公开/授权文献:
- TW201313934A Ｆｅ－Ｐｔ－Ｃ系濺鍍靶 公开/授权日：2013-04-01