基本信息:
- 专利标题: 氧化物燒結體及其製造方法、濺鍍靶材、氧化物透明導電膜及其製造方法與太陽電池
- 专利标题(英):Oxide sintered body and method of manufacturing same, sputtering target, transparent conductive oxide film and method of manufacturing same, and solar cell
- 专利标题(中):氧化物烧结体及其制造方法、溅镀靶材、氧化物透明导电膜及其制造方法与太阳电池
- 申请号:TW100135305 申请日:2011-09-29
- 公开(公告)号:TWI520924B 公开(公告)日:2016-02-11
- 发明人: 倉持豪人 , KURAMOCHI, HIDETO , 松丸慶太郎 , MATSUMARU, KEITARO , 秋池良 , AKIIKE, RYO , 內海健太郎 , UTSUMI, KENTARO , 澀田見哲夫 , SHIBUTAMI, TETSUO
- 申请人: 東曹股份有限公司 , TOSOH CORPORATION
- 专利权人: 東曹股份有限公司,TOSOH CORPORATION
- 当前专利权人: 東曹股份有限公司,TOSOH CORPORATION
- 代理人: 周良謀; 周良吉
- 优先权: 2010-218535 20100929;2010-273490 20101208
- 主分类号: C04B35/01
- IPC分类号: C04B35/01 ; C04B35/622 ; H01B1/08 ; H01B5/14 ; C23C14/34 ; C23C14/08 ; H01L31/00