基本信息:
- 专利标题： 帶電粒子束描繪裝置及多重描繪用之帶電粒子束之照射時間分配方法
- 专利标题（中）：带电粒子束描绘设备及多重描绘用之带电粒子束之照射时间分配方法
- 申请号：TW102120714 申请日：2013-06-11
- 公开(公告)号：TWI498668B 公开(公告)日：2015-09-01
- 发明人： 八島純 , YASHIMA, JUN , 安保彰人 , ANPO, AKIHITO , 加藤靖雄 , KATO, YASUO
- 申请人： 紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
- 专利权人： 紐富來科技股份有限公司,NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
- 当前专利权人： 紐富來科技股份有限公司,NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 2012-154457 20120710
- 主分类号： G03F1/20
- IPC分类号： G03F1/20
公开/授权文献:
- TW201413369A 帶電粒子束描繪裝置及多重描繪用之帶電粒子束之照射時間分配方法 公开/授权日：2014-04-01