基本信息:
- 专利标题： 超音波洗淨裝置、超音波洗淨方法及記錄用以實行該超音波洗淨方法之電腦程式的記錄媒體
- 专利标题（中）：超音波洗净设备、超音波洗净方法及记录用以实行该超音波洗净方法之电脑进程的记录媒体
- 申请号：TW099130189 申请日：2010-09-07
- 公开(公告)号：TWI492794B 公开(公告)日：2015-07-21
- 发明人： 佐藤秀明 , SATO, HIDEAKI , 江嶋和善 , ESHIMA, KAZUYOSHI , 原大海 , HARA, HIROMI , 星野浩澄 , HOSHINO, HIROZUMI
- 申请人： 東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
- 专利权人： 東京威力科創股份有限公司,TOKYO ELECTRON LIMITED
- 当前专利权人： 東京威力科創股份有限公司,TOKYO ELECTRON LIMITED
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 2009-207308 20090908
- 主分类号： B08B3/12
- IPC分类号： B08B3/12 ; H01L21/304
公开/授权文献:
- TW201127505A 超音波洗淨裝置、超音波洗淨方法及記錄用以實行該超音波洗淨方法之電腦程式的記錄媒體 公开/授权日：2011-08-16