基本信息:

• 专利标题： 可控制地植入工件的裝置與方法
• 专利标题（英）：Apparatus and method for controllably implanting workpieces
• 专利标题（中）：可控制地植入工件的设备与方法
• 申请号：TW099139576 申请日：2010-11-17
• 公开(公告)号：TWI485743B 公开(公告)日：2015-05-21
• 发明人： 雷諾 安東尼 , RENAU, ANTHONY , 葛特 盧多維克 , GODET, LUDOVIC , 米勒 提摩太J , MILLER, TIMOTHY J. , 歐爾森 約瑟C , OLSON, JOSEPH C. , 辛 維克拉姆 , SINGH, VIKRAM , 布諾德諾 詹姆士 , BUONODONO, JAMES , 瑞曼帕 迪帕克A , RAMAPPA, DEEPAK A. , 羅 拉塞爾J , LOW, RUSSELL J. , 古普塔 阿塔爾 , GUPTA, ATUL , 丹尼爾斯 凱文M , DANIELS, KEVIN M.
• 申请人： 瓦里安半導體設備公司 ,  VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
• 专利权人： 瓦里安半導體設備公司,VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
• 当前专利权人： 瓦里安半導體設備公司,VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
• 代理人： 詹銘文
• 优先权： 61/261,983 20091117;12/947,078 20101116
• 主分类号： H01J37/317
• IPC分类号： H01J37/317 ; H01L21/265

公开/授权文献:

• TW201142906A  可控制地植入工件的裝置與方法 APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLABLY IMPLANTING WORKPIECES 公开/授权日：2011-12-01

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