基本信息:
- 专利标题： 用於物理氣相沉積腔室之遮盤
- 专利标题（英）：Shutter disk for physical vapor deposition chamber
- 专利标题（中）：用于物理气相沉积腔室之遮盘
- 申请号：TW098131940 申请日：2009-09-22
- 公开(公告)号：TWI484052B 公开(公告)日：2015-05-11
- 发明人： 布朗卡爾M , BROWN, KARL M. , 沙勒傑森 , SCHALLER, JASON
- 申请人： 應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理人： 蔡坤財; 李世章
- 优先权： 61/099,090 20080922;12/542,501 20090817
- 主分类号： C23C14/04
- IPC分类号： C23C14/04