基本信息:
- 专利标题: 氧化矽玻璃坩堝三次元形狀測定方法及單晶矽製造方法
- 专利标题(英):3-dimension shape determination method of silica glass crucible and manufacture method of silicon single crystal
- 专利标题(中):氧化硅玻璃坩埚三次元形状测定方法及单晶硅制造方法
- 申请号:TW101140629 申请日:2012-11-01
- 公开(公告)号:TWI480506B 公开(公告)日:2015-04-11
- 发明人: 須藤俊明 , SUDO, TOSHIAKI , 佐藤忠広 , SATO, TADAHIRO , 北原賢 , KITAHARA, KEN
- 申请人: 日本超精石英股份有限公司 , JAPAN SUPER QUARTZ CORPORATION
- 专利权人: 日本超精石英股份有限公司,JAPAN SUPER QUARTZ CORPORATION
- 当前专利权人: 日本超精石英股份有限公司,JAPAN SUPER QUARTZ CORPORATION
- 代理人: 劉育志
- 优先权: 2011-285295 20111227;2011-285331 20111227
- 主分类号: G01B11/24
- IPC分类号: G01B11/24 ; C30B29/06
公开/授权文献:
- TW201337210A 氧化矽玻璃坩堝三次元形狀測定方法及單晶矽製造方法 公开/授权日:2013-09-16
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
G | 物理 |
--G01 | 测量;测试 |
----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量 |
------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |
--------G01B11/24 | .用于计量轮廓或曲率 |