基本信息:

• 专利标题： 蝕刻液之處理裝置及處理方法
• 专利标题（中）：蚀刻液之处理设备及处理方法
• 申请号：TW099109625 申请日：2010-03-30
• 公开(公告)号：TWI480232B 公开(公告)日：2015-04-11
• 发明人： 小森英之 , KOMORI, HIDEYUKI , 織田信博 , ORITA, NOBUHIRO
• 申请人： 栗田工業股份有限公司 ,  KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
• 专利权人： 栗田工業股份有限公司,KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
• 当前专利权人： 栗田工業股份有限公司,KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
• 代理人： 林志剛
• 优先权： 2009-086345 20090331
• 主分类号： C02F1/58
• IPC分类号： C02F1/58 ; C02F1/44 ; C02F1/48 ; G01N27/26 ; H01L21/306

公开/授权文献:

• TW201102352A  蝕刻液之處理裝置及處理方法 公开/授权日：2011-01-16

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