基本信息:
- 专利标题： 用於含金屬膜的第４族金屬前驅物
- 专利标题（英）：Group 4 metal precursor for metal-containing films
- 专利标题（中）：用于含金属膜的第４族金属前驱物
- 申请号：TW099135836 申请日：2010-10-20
- 公开(公告)号：TWI454589B 公开(公告)日：2014-10-01
- 发明人： 伊瓦諾夫 塞基 烏拉底米諾維奇 , IVANOV, SERGEI VLADIMIROVICH , 雷新建 , LEI, XINJIAN , 程漢頌 , CHENG, HANSONG , 史賓西 丹尼爾 P , SPENCE, DANIEL P. , 金武性 , KIM, MOO-SUNG
- 申请人： 氣體產品及化學品股份公司 , AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- 专利权人： 氣體產品及化學品股份公司,AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- 当前专利权人： 氣體產品及化學品股份公司,AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- 代理人： 陳展俊; 林聖富
- 优先权： 61/254,253 20091023;12/904,421 20101014
- 主分类号： C23C16/18
- IPC分类号： C23C16/18 ; C07F7/00 ; C07F7/28