基本信息:
- 专利标题： 化學放大正型抗蝕組成物
- 专利标题（英）：Chemically amplified positive resist composition
- 专利标题（中）：化学放大正型抗蚀组成物
- 申请号：TW097122822 申请日：2008-06-19
- 公开(公告)号：TWI430031B 公开(公告)日：2014-03-11
- 发明人： 秋田誠 , AKITA, MAKOTO , 吉田勳 , YOSHIDA, ISAO , 橋本和彥 , HASHIMOTO, KAZUHIKO
- 申请人： 住友化學股份有限公司 , SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
- 专利权人： 住友化學股份有限公司,SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
- 当前专利权人： 住友化學股份有限公司,SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
- 代理人： 洪武雄; 陳昭誠
- 优先权： 2007-164929 20070622
- 主分类号： G03F7/039
- IPC分类号： G03F7/039