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专利标题：
線性馬達、微影系統、器件製造方法、及光束照明方法
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- 专利标题（英）：Linear motor,lithographic system,device manufacturing method,and beam illumination method
- 专利标题（中）：线性马达、微影系统、器件制造方法、及光束照明方法
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申请号：TW098139392
申请日：2009-11-19
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公开(公告)号：TWI419442B
公开(公告)日：2013-12-11
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发明人：
曼卡拉 凱元 庫馬
, MANKALA, KALYAN KUMAR
, 魏納 羅伯托B
, WIENER, ROBERTO B.
, 古佛 普羅迪帕K
, GOVIL, PRADEEP K.
, 尼爾森 安德魯
, NELSON, ANDREW
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申请人：
ASML控股公司
,
ASML HOLDING N.V.
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专利权人：
ASML控股公司,ASML HOLDING N.V.
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当前专利权人：
ASML控股公司,ASML HOLDING N.V.
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代理人：
陳長文
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优先权：
61/141,863 20081231
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主分类号：
H02K3/42
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IPC分类号：
H02K3/42
; G03F7/20
