基本信息:
- 专利标题： 生孔劑、生孔性前驅物及使用其提供具有低介電常數之多孔性有機矽石玻璃膜的方法
- 专利标题（英）：Porogens, porogenated precursors and methods for using the same to provide porous organosilica glass films with low dielectric constants
- 专利标题（中）：生孔剂、生孔性前驱物及使用其提供具有低介电常数之多孔性有机硅石玻璃膜的方法
- 申请号：TW098114769 申请日：2009-05-04
- 公开(公告)号：TWI397606B 公开(公告)日：2013-06-01
- 发明人： 孟提 雷蒙 尼克勞斯 , VRTIS, RAYMOND NICHOLAS , 歐尼爾 馬克 李納德 , O'NEILL, MARK LEONARD , 文生 珍 露薏茲 , VINCENT, JEAN LOUISE , 盧卡斯 亞倫 史考特 , LUKAS, AARON SCOTT , 哈斯 瑪莉 凱絲琳 , HAAS, MARY KATHRYN
- 申请人： 氣體產品及化學品股份公司 , AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- 专利权人： 氣體產品及化學品股份公司,AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- 当前专利权人： 氣體產品及化學品股份公司,AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- 代理人： 陳展俊; 林聖富
- 优先权： 12/115,087 20080505
- 主分类号： C23C16/42
- IPC分类号： C23C16/42 ; C23C16/40 ; C07F7/18 ; C07C13/02 ; H01L21/316