基本信息:
- 专利标题： 摻雜二氧化鈦之石英玻璃，ＥＵＶ微影用構件，ＥＵＶ微影用光罩基板及摻雜二氧化鈦之石英玻璃的製造方法
- 专利标题（中）：掺杂二氧化钛之石英玻璃，ＥＵＶ微影用构件，ＥＵＶ微影用光罩基板及掺杂二氧化钛之石英玻璃的制造方法
- 申请号：TW095145693 申请日：2006-12-07
- 公开(公告)号：TWI389866B 公开(公告)日：2013-03-21
- 发明人： 每田繁 , MAIDA, SHIGERU , 山田素行 , YAMADA, MOTOYUKI
- 申请人： 信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- 专利权人： 信越化學工業股份有限公司,SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- 当前专利权人： 信越化學工業股份有限公司,SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 2005-354488 20051208;2006-318172 20061127
- 主分类号： C03C3/06
- IPC分类号： C03C3/06 ; G03F7/20 ; C03B19/14
公开/授权文献:
- TW200736183A 摻雜二氧化鈦之石英玻璃,EUV微影用構件,EUV微影用光罩基板及摻雜二氧化鈦之石英玻璃的製造方法 公开/授权日：2007-10-01