发明专利
TWI345140B 利用用於ＦＰＤ之多重辭典壓縮方法之微影裝置及元件製造方法 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD UTILIZING A MULTIPLE DICTIONARY COMPRESSION METHOD FOR FPD
有权
基本信息:
- 专利标题： 利用用於ＦＰＤ之多重辭典壓縮方法之微影裝置及元件製造方法 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD UTILIZING A MULTIPLE DICTIONARY COMPRESSION METHOD FOR FPD
- 专利标题（英）：Lithographic apparatus and device manufacturing method utilizing a multiple dictionary compression method for fpd
- 专利标题（中）：利用用于ＦＰＤ之多重辞典压缩方法之微影设备及组件制造方法 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD UTILIZING A MULTIPLE DICTIONARY COMPRESSION METHOD FOR FPD
- 申请号：TW095130345 申请日：2006-08-18
- 公开(公告)号：TWI345140B 公开(公告)日：2011-07-11
- 发明人： 派翠西斯 阿若瑟斯 約克伯 提那曼斯 , 蓮博特絲 姬德絲 馬莉雅 凱瑟絲 , 瑞米可 喬漢那 凡 英葛
- 申请人： ASML荷蘭公司
- 申请人地址： ASML NETHERLANDS B. V. 荷蘭 NL
- 专利权人： ASML荷蘭公司
- 当前专利权人： ASML荷蘭公司
- 当前专利权人地址： ASML NETHERLANDS B. V. 荷蘭 NL
- 代理人： 陳長文
- 优先权： 美國 11/214,055 20050830
- 主分类号： G03F
- IPC分类号： G03F ; H01L
摘要：
本發明提供一種微影裝置，其包含：一陣列之個別可控制器件，其調變一輻射光束；一壓縮圖案記憶體，其儲存將藉由經調變之光束形成於一基板上之一所需劑量之圖案的一壓縮圖像；及一辭典解壓縮器，其至少部分解壓縮該壓縮圖像。該辭典解壓縮器包含：一外部辭典記憶體；一第一辭典解碼器，其藉由自該外部辭典記憶體擷取該壓縮圖像中含有的對應於對該外部辭典記憶體之參考的圖案資料之部分而至少部分解壓縮該壓縮圖像之至少一部分；及一第二辭典解碼器，其具有一內部辭典記憶體，該第二辭典解碼器藉由自該內部辭典記憶體擷取該壓縮圖像中含有的對應於對該內部辭典記憶體之參考的圖案資料之部分而至少部分解壓縮該壓縮圖像之至少一部分。
摘要（中）：
本发明提供一种微影设备，其包含：一数组之个别可控制器件，其调制一辐射光束；一压缩略图案内存，其存储将借由经调制之光束形成于一基板上之一所需剂量之图案的一压缩略图像；及一辞典解压缩器，其至少部分解压缩该压缩略图像。该辞典解压缩器包含：一外部辞典内存；一第一辞典译码器，其借由自该外部辞典内存截取该压缩略图像中含有的对应于对该外部辞典内存之参考的图案数据之部分而至少部分解压缩该压缩略图像之至少一部分；及一第二辞典译码器，其具有一内部辞典内存，该第二辞典译码器借由自该内部辞典内存截取该压缩略图像中含有的对应于对该内部辞典内存之参考的图案数据之部分而至少部分解压缩该压缩略图像之至少一部分。