基本信息:
- 专利标题： 帶電粒子束裝置 CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
- 专利标题（英）：Charged particle beam device
- 专利标题（中）：带电粒子束设备 CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
- 申请号：TW096105544 申请日：2007-02-14
- 公开(公告)号：TWI338908B 公开(公告)日：2011-03-11
- 发明人： 佛瑞森傑葛 , 愛爾格亞卡克
- 申请人： ICT積體電路測試股份有限公司
- 申请人地址： ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH 德國 DE
- 专利权人： ICT積體電路測試股份有限公司
- 当前专利权人： ICT積體電路測試股份有限公司
- 当前专利权人地址： ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH 德國 DE
- 代理人： 蔡坤財; 李世章
- 优先权： 歐洲專利局 EP 06003722.3 20060223
- 主分类号： H01J
- IPC分类号： H01J
摘要：
本發明提供一種用來照射樣本(28)之帶電粒子束裝置，該裝置包含一用以提供帶電粒子束(31)的粒子來源(13；14,16)、一用以引導該帶電粒子束至該樣本上的光學裝置(18,20,22,24,26,27)以及一用以減少該樣本之電荷累積及/或污染的臭氧單元。該臭氧單元包含一臭氧供應器(34,35,36)及一樣本噴嘴單元(38)，用以引導一臭氧氣流至該樣本(28)。此外，本發明提供一種用來照射樣本之帶電粒子束裝置，該裝置包含一用以提供帶電粒子束(31)的粒子來源(13；14,16)、一用以引導該帶電粒子束至該樣本上的光學裝置(18,20,22,24,26,27)、一偵測器(30)以及一用以減少該偵測器之電荷累積及/或污染的氣體單元。該氣體單元包含一氣體供應器(34,35,37)及一偵測器噴嘴單元(40)，用以引導一氣流至該偵測器。此外，本發明提供用來操作根據本發明之帶電粒子束裝置的方法。
摘要（中）：
本发明提供一种用来照射样本(28)之带电粒子束设备，该设备包含一用以提供带电粒子束(31)的粒子来源(13；14,16)、一用以引导该带电粒子束至该样本上的光学设备(18,20,22,24,26,27)以及一用以减少该样本之电荷累积及/或污染的臭氧单元。该臭氧单元包含一臭氧供应器(34,35,36)及一样本喷嘴单元(38)，用以引导一臭氧气流至该样本(28)。此外，本发明提供一种用来照射样本之带电粒子束设备，该设备包含一用以提供带电粒子束(31)的粒子来源(13；14,16)、一用以引导该带电粒子束至该样本上的光学设备(18,20,22,24,26,27)、一侦测器(30)以及一用以减少该侦测器之电荷累积及/或污染的气体单元。该气体单元包含一气体供应器(34,35,37)及一侦测器喷嘴单元(40)，用以引导一气流至该侦测器。此外，本发明提供用来操作根据本发明之带电粒子束设备的方法。
公开/授权文献:
- TW200741792A 帶電粒子束裝置 CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE 公开/授权日：2007-11-01