发明专利
TWI247123B 使用反射與螢光影像檢測電子電路之系統及方法 SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTING ELECTRICAL CIRCUITS UTILIZING REFLECTIVE AND FLUORESCENT IMAGERY
有权
基本信息:
- 专利标题： 使用反射與螢光影像檢測電子電路之系統及方法 SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTING ELECTRICAL CIRCUITS UTILIZING REFLECTIVE AND FLUORESCENT IMAGERY
- 专利标题（英）：System and method for inspecting electrical circuits utilizing reflective and fluorescent imagery
- 专利标题（中）：使用反射与萤光影像检测电子电路之系统及方法 SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTING ELECTRICAL CIRCUITS UTILIZING REFLECTIVE AND FLUORESCENT IMAGERY
- 申请号：TW093120512 申请日：2004-07-08
- 公开(公告)号：TWI247123B 公开(公告)日：2006-01-11
- 发明人： 阿米爾 挪由 NOY, AMIR , 吉拉德 達凡瑞 DAVARA, GILAD
- 申请人： 奧寶科技有限公司 ORBOTECH LTD.
- 申请人地址： 以色列
- 专利权人： 奧寶科技有限公司 ORBOTECH LTD.
- 当前专利权人： 奧寶科技有限公司 ORBOTECH LTD.
- 当前专利权人地址： 以色列
- 代理人： 陳長文
- 优先权： 美國 10/793,224 20040305
- 主分类号： G01R
- IPC分类号： G01R
摘要：
本發明揭示一種檢測電子電路之方法，其包括：在一第一時間間隔期間之一第一影像中，藉由偵測從一電子電路之至少一部分反射的光，而對該電子電路之至少一部分進行光學檢測；在一第二時間間隔期間獲取之一第二影像中，藉由螢光而從該電子電路之至少一部分發射的光進行光學檢測；以及依據幾何上一致之指示來指示該電子電路中的缺陷，該等幾何上一致之指示係產生於：不僅藉由偵測從一電子電路之至少一部分反射的光而對該電子電路之至少一部分進行光學檢測，而且對藉由螢光而從該電子電路之至少一部分發射的光進行光學檢測。
摘要（中）：
本发明揭示一种检测电子电路之方法，其包括：在一第一时间间隔期间之一第一影像中，借由侦测从一电子电路之至少一部分反射的光，而对该电子电路之至少一部分进行光学检测；在一第二时间间隔期间获取之一第二影像中，借由萤光而从该电子电路之至少一部分发射的光进行光学检测；以及依据几何上一致之指示来指示该电子电路中的缺陷，该等几何上一致之指示系产生于：不仅借由侦测从一电子电路之至少一部分反射的光而对该电子电路之至少一部分进行光学检测，而且对借由萤光而从该电子电路之至少一部分发射的光进行光学检测。
摘要（英）：
A method for inspecting an electrical circuit including optically inspecting at least a portion of an electrical circuit by detecting light reflected therefrom in a first image during a first time interval, optically inspecting light emitted from at least a portion of the electrical circuit by fluorescence in a second image acquired during a second time interval and indicating defects in the electrical circuit based on geometrically coincident indications from both the optically inspecting at least a portion of an electrical circuit by detecting light reflected therefrom and the optically inspecting light emitted from at least a portion of the electrical circuit by fluorescence.