基本信息:
- 专利标题： 電漿處理裝置用罩環
- 专利标题（中）：等离子处理设备用罩环
- 申请号：TW106301395 申请日：2017-03-17
- 公开(公告)号：TWD190344S 公开(公告)日：2018-05-11
- 设计人： 一野貴雅 , ICHINO, TAKAMASA , 佐藤浩平 , SATO, KOHEI , 中本和則 , NAKAMOTO, KAZUNORI
- 申请人： 日立全球先端科技股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
- 专利权人： 日立全球先端科技股份有限公司,HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
- 当前专利权人： 日立全球先端科技股份有限公司,HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 2017-001755 20170131