基本信息:
- 专利标题： 具有扣環之試品支︴座
- 专利标题（英）：Specimen holder with a retaining ring
- 专利标题（中）：具有扣环之试品支︴座
- 申请号：TW085214353 申请日：1995-08-12
- 公开(公告)号：TW317964U 公开(公告)日：1997-10-11
- 发明人： 吳維賽德爾 , 萊那布雷恩
- 申请人： 西門斯股份有限公司
- 申请人地址： 德國
- 专利权人： 西門斯股份有限公司
- 当前专利权人： 西門斯股份有限公司
- 当前专利权人地址： 德國
- 代理人： 鄭自添
- 主分类号： H01L
- IPC分类号： H01L
摘要：
一種在生產大型積體電路的過程中塗佈鎢之基體表面再蝕刻之誠品支撐座，其中在再蝕刻程序中藉助排列在基體邊緣之扣環將基體壓低冷卻誠品支撐座，該扣環僅局部地將基體之邊緣扣在配置在扣環周邊之扣壓位置，對於在再蝕刻程序釋中出的蝕刻產物而言，此扣壓位置是不具有滯留作用的，因此蝕刻產物能夠流過扣壓位置，然後按計劃沈積在基體表面之外側。
摘要（中）：
一种在生产大型集成电路的过程中涂布钨之基体表面再蚀刻之诚品支撑座，其中在再蚀刻进程中借助排列在基体边缘之扣环将基体压低冷却诚品支撑座，该扣环仅局部地将基体之边缘扣在配置在扣环周边之扣压位置，对于在再蚀刻进程释中出的蚀刻产物而言，此扣压位置是不具有滞留作用的，因此蚀刻产物能够流过扣压位置，然后按计划沉积在基体表面之外侧。