基本信息:
- 专利标题: 熱導型氣壓計
- 专利标题(中):热导型气压计
- 申请号:TW084112827 申请日:1995-12-01
- 公开(公告)号:TW292356B 公开(公告)日:1996-12-01
- 发明人: 謝正雄
- 申请人: 光磊科技股份有限公司 , 全磊實業股份有限公司
- 申请人地址: 新竹科學工業園區創新一路八號 新竹巿學府路一一三號
- 专利权人: 光磊科技股份有限公司,全磊實業股份有限公司
- 当前专利权人: 光磊科技股份有限公司,全磊實業股份有限公司
- 当前专利权人地址: 新竹科學工業園區創新一路八號 新竹巿學府路一一三號
- 主分类号: G01L
- IPC分类号: G01L
摘要:
一種微型氣體壓力感測元件。此元件的結構具有一微型的懸浮絕緣性薄板(MEMBRANE),其上鍍有一溫度敏感電阻(TEMPERATURE SENSITIVE RESISTOR),可由電偏壓加熱升溫。元件依據其周圍氣體產生之散熱效應引致薄板之溫度變化,繼而改變該溫度敏感電阻之阻值,最後在電路上感應一相對的輸出信號。本發明之特點在元件感測壓力的原理,是依據此散熱量適與氣體之壓力成某比例關係者。本發明之另一特點是以一極高氣壓作為壓力之參考零點,因而可經由與其相對之電阻值變量來衡量高氣體壓力者。
摘要(中):
一种微型气体压力传感组件。此组件的结构具有一微型的悬浮绝缘性薄板(MEMBRANE),其上镀有一温度敏感电阻(TEMPERATURE SENSITIVE RESISTOR),可由电偏压加热升温。组件依据其周围气体产生之散热效应引致薄板之温度变化,继而改变该温度敏感电阻之阻值,最后在电路上感应一相对的输出信号。本发明之特点在组件传感压力的原理,是依据此散热量适与气体之压力成某比例关系者。本发明之另一特点是以一极高气压作为压力之参考零点,因而可经由与其相对之电阻值变量来衡量高气体压力者。