基本信息:
- 专利标题： 錯誤偵測方法及製造設施
- 专利标题（英）：Fault Detection Method and Fabrication Facility
- 专利标题（中）：错误侦测方法及制造设施
- 申请号：TW108108349 申请日：2019-03-13
- 公开(公告)号：TW202003361A 公开(公告)日：2020-01-16
- 发明人： 黃俊榮 , HUANG, CHUN-JUNG , 徐永璘 , HSU, YUNG-LIN , 徐光宏 , HSU, KUANG-HUAN , 陳韋志 , CHEN, WEI-CHIH , 王仁地 , WANG, JEN-TI , 劉志鋐 , LIU, CHIH-HUNG
- 申请人： 台灣積體電路製造股份有限公司 , TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
- 申请人地址： 新竹市
- 专利权人： 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
- 当前专利权人： 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
- 当前专利权人地址： 新竹市
- 代理人： 洪澄文
- 优先权： 15/991,651 20180529
- 主分类号： B65G49/07
- IPC分类号： B65G49/07 ; G06Q50/04
摘要：
本揭露一實施例提供一種錯誤偵測方法，適用於一半導體製造廠中。上述錯誤偵測方法包括沿一軌道傳送一測試載車至一檢驗區域。上述錯誤偵測方法更包括當測試載車位於一檢驗區域內時，透過放置於測試載車上的一換能器投射一測試訊號至一檢驗板，其中檢驗板以及測試載車沿一平行於軌道的一軸線配置。上述錯誤偵測方法還包括對投射於檢驗板的測試訊號進行一分析。另外，上述錯誤偵測方法包括根據分析的結果偵測出一異常時發出一警示警報。
摘要（中）：
本揭露一实施例提供一种错误侦测方法，适用于一半导体制造厂中。上述错误侦测方法包括沿一轨道发送一测试载车至一检验区域。上述错误侦测方法更包括当测试载车位于一检验区域内时，透过放置于测试载车上的一换能器投射一测试信号至一检验板，其中检验板以及测试载车沿一平行于轨道的一轴线配置。上述错误侦测方法还包括对投射于检验板的测试信号进行一分析。另外，上述错误侦测方法包括根据分析的结果侦测出一异常时发出一警示警报。
公开/授权文献:
- TWI690471B 錯誤偵測方法及製造設施 公开/授权日：2020-04-11
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B65 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 |
| ----B65G | 运输或贮存装置，例如装载或倾斜用输送机；车间输送机系统；气动管道输送机 |
| ------B65G49/00 | 其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统 |
| --------B65G49/02 | .用于输送通过液浴的工件 |
| ----------B65G49/07 | ..用于半导体晶片的 |