基本信息:
- 专利标题: 磨料輸送拋光墊及其製作方法
- 专利标题(英):ABRASIVE DELIVERY POLISHING PADS AND MANUFACTURING METHODS THEREOF
- 专利标题(中):磨料输送抛光垫及其制作方法
- 申请号:TW107125825 申请日:2018-07-26
- 公开(公告)号:TW201910479A 公开(公告)日:2019-03-16
- 发明人: 裘卡林姆 亞敘溫 , CHOCKALINGAM, ASHWIN , 巴札 拉吉菲 , BAJAJ, RAJEEV , 庫馬 愛沙瓦尼 , KUMAR, ASHAVANI , 瑞特法德 丹尼爾 , REDFIELD, DANIEL
- 申请人: 美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人: 美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人: 美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理人: 李世章; 彭國洋
- 优先权: 62/542,136 20170807
- 主分类号: C09K3/14
- IPC分类号: C09K3/14 ; C09G1/02 ; B24B57/00 ; B24B37/20
摘要:
本案揭露內容提供磨料輸送(abrasive delivery, AD)拋光墊及該拋光墊之製作方法。一個實施例中,一種形成拋光製品之方法包括:由第一可固化樹脂前驅物組成物形成子拋光元件,以及形成從該子拋光元件延伸的複數個拋光元件。形成該複數個拋光元件包括:由第二可固化樹脂前驅物組成物形成連續聚合物相,以及形成複數個不連續磨料輸送特徵,該等不連續磨料輸送特徵配置於該連續聚合物相內。該子拋光元件是藉由配發該第一可固化樹脂前驅物組成物之複數個第一液滴而形成。該複數個拋光元件是藉由配發該第二可固化樹脂前驅物組成物之複數個第二液滴而形成。一些實施例中,該等不連續磨料輸送特徵包括水溶性材料,該水溶性材料中散佈有磨料顆粒。
摘要(中):
本案揭露内容提供磨料输送(abrasive delivery, AD)抛光垫及该抛光垫之制作方法。一个实施例中,一种形成抛光制品之方法包括:由第一可固化树脂前驱物组成物形成子抛光组件,以及形成从该子抛光组件延伸的复数个抛光组件。形成该复数个抛光组件包括:由第二可固化树脂前驱物组成物形成连续聚合物相,以及形成复数个不连续磨料输送特征,该等不连续磨料输送特征配置于该连续聚合物相内。该子抛光组件是借由配发该第一可固化树脂前驱物组成物之复数个第一液滴而形成。该复数个抛光组件是借由配发该第二可固化树脂前驱物组成物之复数个第二液滴而形成。一些实施例中,该等不连续磨料输送特征包括水溶性材料,该水溶性材料中散布有磨料颗粒。
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
C | 化学;冶金 |
--C09 | 染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用 |
----C09K | 不包含在其他类目中的各种应用材料;不包含在其他类目中的材料的各种应用 |
------C09K3/00 | 不包含在其他类目中的材料 |
--------C09K3/14 | .防滑材料;研磨材料 |