基本信息:
- 专利标题： 基於鋰鈷氧化物之薄膜陰極材料
- 专利标题（英）：Lithium cobalt oxide-based thin film cathode material
- 专利标题（中）：基于锂钴氧化物之薄膜阴极材料
- 申请号：TW107112861 申请日：2018-04-16
- 公开(公告)号：TW201843325A 公开(公告)日：2018-12-16
- 发明人： 里彭斯 保羅 , LIPPENS, PAUL
- 申请人： 比利時商烏明克公司 , UMICORE
- 专利权人： 比利時商烏明克公司,UMICORE
- 当前专利权人： 比利時商烏明克公司,UMICORE
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 17168949.0 20170502
- 主分类号： C23C14/08
- IPC分类号： C23C14/08 ; C23C14/35 ; C23C14/54 ; H01M4/525
摘要：
一種用於在基材上沉積基於鋰鈷氧化物之薄膜的程序，其中Li化學計量(LixCoO2)可使用標準化學計量LiCoO2靶材料並分別組合第二靶材料（分別係Co或CoaOb及Li或Li2O，視情況而定）而在界限0.5≤x≤1.1內調諧，該第二靶材料可在雙磁控管上或在相鄰塗佈腔室中之單獨磁控管上。在使用雙磁控管的情況下，較佳的是使用雙極脈衝式DC並且在這兩個陰極之各者上使用受控負載循環以調諧塗層之化學計量。替代地，使用單極脈衝式DC對LiCoO2靶材供電至功率P1，並且使用DC或單極脈衝式DC分別對Co或CoaOb及Li或Li2O靶材供電至功率P2以調諧化學計量。在使用相鄰塗佈腔室中之單獨磁控管的情況下，分別調諧LiCoO2及Co或CoaOb及Li或Li2O靶材之功率負載以達到所欲之化學計量。
摘要（中）：
一种用于在基材上沉积基于锂钴氧化物之薄膜的进程，其中Li化学计量(LixCoO2)可使用标准化学计量LiCoO2靶材料并分别组合第二靶材料（分别系Co或CoaOb及Li或Li2O，视情况而定）而在界限0.5≤x≤1.1内调谐，该第二靶材料可在双磁控管上或在相邻涂布腔室中之单独磁控管上。在使用双磁控管的情况下，较佳的是使用双极脉冲式DC并且在这两个阴极之各者上使用受控负载循环以调谐涂层之化学计量。替代地，使用单极脉冲式DC对LiCoO2靶材供电至功率P1，并且使用DC或单极脉冲式DC分别对Co或CoaOb及Li或Li2O靶材供电至功率P2以调谐化学计量。在使用相邻涂布腔室中之单独磁控管的情况下，分别调谐LiCoO2及Co或CoaOb及Li或Li2O靶材之功率负载以达到所欲之化学计量。