基本信息:
- 专利标题: 球狀結晶性二氧化矽粒子及其製造方法
- 专利标题(中):球状结晶性二氧化硅粒子及其制造方法
- 申请号:TW107111644 申请日:2018-04-02
- 公开(公告)号:TW201841834A 公开(公告)日:2018-12-01
- 发明人: 佐藤裕 , SATO, YUTAKA , 矢木克昌 , YAGI, KATSUMASA , 田中睦人 , TANAKA, MUTSUHITO , 德田尚三 , TOKUDA, SHOZO , 阿江正德 , AE, MASANORI
- 申请人: 日商新日鐵住金高新材料股份有限公司 , NIPPON STEEL & SUMIKIN MATERIALS CO., LTD.
- 专利权人: 日商新日鐵住金高新材料股份有限公司,NIPPON STEEL & SUMIKIN MATERIALS CO., LTD.
- 当前专利权人: 日商新日鐵住金高新材料股份有限公司,NIPPON STEEL & SUMIKIN MATERIALS CO., LTD.
- 代理人: 劉法正; 尹重君
- 优先权: 2017-075535 20170405
- 主分类号: C01B33/12
- IPC分类号: C01B33/12 ; C08K7/18 ; H01L23/29
摘要:
本發明提供一種球狀結晶性二氧化矽粒子及其製造方法,該球狀結晶性二氧化矽粒子具有比習知更高的生產性,且製造成本低、並含有大量高導熱係數之石英,具有高流動性、高分散性、高填充性、低磨耗性,並且亦可適用於半導體領域。 該球狀結晶性二氧化矽粒子之特徵在於,其結晶相佔全體90質量%以上,而石英結晶佔全體70質量%以上。又,以氧化物換算計,其相對於全體粒子可含有0.4~5質量%之至少1種鹼金屬。復又,以氧化物換算計,其相對於全體粒子可含有1~5質量%之至少1種鹼土類金屬。
摘要(中):
本发明提供一种球状结晶性二氧化硅粒子及其制造方法,该球状结晶性二氧化硅粒子具有比习知更高的生产性,且制造成本低、并含有大量高导热系数之石英,具有高流动性、高分散性、高填充性、低磨耗性,并且亦可适用于半导体领域。 该球状结晶性二氧化硅粒子之特征在于,其结晶相占全体90质量%以上,而石英结晶占全体70质量%以上。又,以氧化物换算计,其相对于全体粒子可含有0.4~5质量%之至少1种碱金属。复又,以氧化物换算计,其相对于全体粒子可含有1~5质量%之至少1种碱土类金属。
公开/授权文献:
- TWI670231B 球狀結晶性二氧化矽粒子及其製造方法 公开/授权日:2019-09-01