基本信息:
- 专利标题： 用於電漿處理腔室的電漿屏
- 专利标题（英）：PLASMA SCREEN FOR PLASMA PROCESSING CHAMBER
- 专利标题（中）：用于等离子处理腔室的等离子屏
- 申请号：TW106128955 申请日：2017-08-25
- 公开(公告)号：TW201820379A 公开(公告)日：2018-06-01
- 发明人： 尼柯爾斯 麥克湯瑪斯 , NICHOLS, MICHAEL THOMAS , 尤瑟夫 以馬德 , YOUSIF, IMAD , 歐麥力三世 約翰安東尼 , O'MALLEY, III, JOHN ANTHONY , 汀德沙 拉吉德 , DHINDSA, RAJINDER , 巴巴揚 史蒂芬E , BABAYAN, STEVEN E.
- 申请人： 美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人： 美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： 美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理人： 李世章; 彭國洋
- 优先权： 62/380,151 20160826
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
摘要：
本揭示內容的具體實施例相關於使用在電漿處理腔室中的電漿屏，此電漿屏具有提升的流導(flow conductance)與均勻度。一個具體實施例提供一種電漿屏。電漿屏包含圓形板，圓形板具有中心開口與外徑。形成穿過圓形板的複數個切口(cut out)。複數個切口被設置於兩或更多個同心圓中。每一同心圓包含均等數量的切口。
摘要（中）：
本揭示内容的具体实施例相关于使用在等离子处理腔室中的等离子屏，此等离子屏具有提升的流导(flow conductance)与均匀度。一个具体实施例提供一种等离子屏。等离子屏包含圆形板，圆形板具有中心开口与外径。形成穿过圆形板的复数个切口(cut out)。复数个切口被设置于两或更多个同心圆中。每一同心圆包含均等数量的切口。