基本信息:
- 专利标题： 半導體用膜組成物、半導體用膜組成物的製造方法、半導體用構件的製造方法、半導體用工程材料的製造方法及半導體裝置
- 专利标题（英）：Film composition for semiconductor, method of manufacturing film composition for semiconductor, method of manufacturing member for semiconductor, method of manufacturing process member for semiconductor and semiconductor device
- 专利标题（中）：半导体用膜组成物、半导体用膜组成物的制造方法、半导体用构件的制造方法、半导体用工程材料的制造方法及半导体设备
- 申请号：TW105137370 申请日：2016-11-16
- 公开(公告)号：TW201738304A 公开(公告)日：2017-11-01
- 发明人： 茅場靖剛 , KAYABA, YASUHISA , 田中博文 , TANAKA, HIROFUMI , 和知浩子 , WACHI, HIROKO , 小野昇子 , ONO, SHOKO
- 申请人： 三井化學股份有限公司 , MITSUI CHEMICALS, INC.
- 专利权人： 三井化學股份有限公司,MITSUI CHEMICALS, INC.
- 当前专利权人： 三井化學股份有限公司,MITSUI CHEMICALS, INC.
- 代理人： 葉璟宗; 鄭婷文; 詹富閔
- 优先权： 2015-224196 20151116
- 主分类号： C08K5/092
- IPC分类号： C08K5/092 ; C08L101/02 ; H01L21/312
摘要：
一種半導體用膜組成物，其包括：化合物（A），具有包含一級氮原子及二級氮原子的至少一個的陽離子性官能基，且重量平均分子量為1萬以上、40萬以下；交聯劑（B），於分子內具有三個以上的-C(=O)OX基（X為氫原子或碳數1以上、6以下的烷基），三個以上的-C(=O)OX基中，一個以上、六個以下為-C(=O)OH基，且重量平均分子量為200以上、600以下；以及水（D）；且所述化合物（A）為脂肪族胺。
摘要（中）：
一种半导体用膜组成物，其包括：化合物（A），具有包含一级氮原子及二级氮原子的至少一个的阳离子性官能基，且重量平均分子量为1万以上、40万以下；交联剂（B），于分子内具有三个以上的-C(=O)OX基（X为氢原子或碳数1以上、6以下的烷基），三个以上的-C(=O)OX基中，一个以上、六个以下为-C(=O)OH基，且重量平均分子量为200以上、600以下；以及水（D）；且所述化合物（A）为脂肪族胺。
摘要（英）：
A film composition for a semiconductor includes: a compound (A) that has a cationic functional group having at least one of a primary nitrogen atom or a secondary nitrogen atom, and that has a weight average molecular weight of from 10,000 to 400,000; a crosslinking agent (B) that has three or more -C(=O)OX groups in a molecule thereof (wherein X represents a hydrogen atom or an alkyl group having from 1 to 6 carbons), from one to six -C(=O)OX groups among the three or more -C(=O)OX groups being -C(=O)OH groups, and a weight average molecular weight of the crosslinking agent (B) being from 200 to 600; and water (D), and the compound (A) is an aliphatic amine.