专利号TW105131243 | 用於高的寬高比特徵之烘乾處理

专利标题：用於高的寬高比特徵之烘乾處理
专利标题（英）：Drying process for high aspect ratio features
专利标题（中）：用于高的宽高比特征之烘干处理
申请号：TW105131243 申请日：2016-09-29
公开(公告)号：TW201731598A 公开(公告)日：2017-09-16
发明人：寇克羅門 , GOUK, ROMAN , 陳翰文 , CHEN, HAN-WEN , 維哈佛貝可史帝文 , VERHAVERBEKE, STEVEN , 德爾馬斯琴 , DELMAS, JEAN
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
专利权人：應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
当前专利权人：應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
代理人：李世章; 彭國洋
优先权： 62/236,913 20151004
主分类号： B08B7/00
IPC分类号： B08B7/00 ; F26B21/14 ; F26B5/04 ; H01L21/67

摘要：

揭示一種基板處理方法。該方法包含以下步驟：輸送一溶劑至一處理腔室，且輸送一基板至該處理腔室。出現在該處理腔室中的溶劑份量可經配置以浸沒該基板。可輸送液體CO2至該處理腔室且可將該液體CO2與該溶劑混合。可輸送一份量的額外液體CO2至該處理腔室，該份量大於該處理腔室的一容量以置換該溶劑。可在該處理腔室中將該液體CO2相位轉換至超臨界CO2，且可藉由等溫減壓該處理腔室及自該處理腔室排出氣體CO2來烘乾該基板。

摘要（中）：

揭示一种基板处理方法。该方法包含以下步骤：输送一溶剂至一处理腔室，且输送一基板至该处理腔室。出现在该处理腔室中的溶剂份量可经配置以浸没该基板。可输送液体CO2至该处理腔室且可将该液体CO2与该溶剂混合。可输送一份量的额外液体CO2至该处理腔室，该份量大于该处理腔室的一容量以置换该溶剂。可在该处理腔室中将该液体CO2相位转换至超临界CO2，且可借由等温减压该处理腔室及自该处理腔室排出气体CO2来烘干该基板。

摘要（英）：

A method for processing a substrate is disclosed. The method includes delivering a solvent to a processing chamber and delivering a substrate to the processing chamber. The amount of solvent present in the processing chamber may be configured to submerse the substrate. Liquid CO2 may be delivered to the processing chamber and the liquid CO2 may be mixed with the solvent. Additional liquid CO2 may be delivered to the processing chamber in an amount greater than a volume of the processing chamber to displace the solvent. The liquid CO2 may be phase transitioned to supercritical CO2 in the processing chamber and the substrate may be dried by isothermally depressurizing the processing chamber and exhausting gaseous CO2 from the processing chamber.

TWI695744B 用於高縱橫比特徵之烘乾處理公开/授权日：2020-06-11

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B	作业；运输
--B08	清洁
----B08B	一般清洁；一般污垢的防除
------B08B7/00	不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法

发明专利 TW201731598A 用於高的寬高比特徵之烘乾處理 审中-公开

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