基本信息:
- 专利标题： 檢查設備及物品製造方法
- 专利标题（英）：Inspection apparatus and article manufacturing method
- 专利标题（中）：检查设备及物品制造方法
- 申请号：TW105130329 申请日：2016-09-20
- 公开(公告)号：TW201712324A 公开(公告)日：2017-04-01
- 发明人： 植村卓典 , UEMURA, TAKANORI
- 申请人： 佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
- 专利权人： 佳能股份有限公司,CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： 佳能股份有限公司,CANON KABUSHIKI KAISHA
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 2015-194024 20150930
- 主分类号： G01N21/88
- IPC分类号： G01N21/88 ; G01B11/30
摘要：
一種用於執行物體的檢查的檢查設備包括：照明裝置，其對於物體執行各向異性照明和各向同性照明；成像裝置，其使藉由照明裝置而被照明的物體成像；以及處理器，其基於由成像裝置所獲得的影像來執行檢查的處理。處理器基於由成像裝置在照明裝置分別執行複數個各向異性照明時所獲得的複數個第一影像、以及由成像裝置在照明裝置執行各向同性照明時所獲得的第二影像來產生檢查影像，並且基於檢查影像來執行處理。
摘要（中）：
一种用于运行物体的检查的检查设备包括：照明设备，其对于物体运行各向异性照明和各向同性照明；成像设备，其使借由照明设备而被照明的物体成像；以及处理器，其基于由成像设备所获得的影像来运行检查的处理。处理器基于由成像设备在照明设备分别运行复数个各向异性照明时所获得的复数个第一影像、以及由成像设备在照明设备运行各向同性照明时所获得的第二影像来产生检查影像，并且基于检查影像来运行处理。
摘要（英）：
An inspection apparatus for performing inspection of an object includes an illumination device which performs an anisotropic illumination and an isotropic illumination for the object, an imaging device which images the object illuminated by the illumination device, and a processor which performs processing of the inspection based on an image obtained by the imaging device. The processor generates an inspection image based on plural first images obtained by the imaging device while the illumination device respectively performs plural anisotropic illuminations and a second image obtained by the imaging device while the illumination device performs an isotropic illumination, and performs the processing based on the inspection image.
公开/授权文献:
- TWI626438B 檢查設備及物品製造方法 公开/授权日：2018-06-11
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
| ----------G01N21/88 | ..测试瑕疵、缺陷或污点的存在 |