基本信息:
- 专利标题： 用於利用一數位匹配濾波器之增強型缺陷偵測之系統及方法
- 专利标题（英）：System and method for enhanced defect detection with a digital matched filter
- 专利标题（中）：用于利用一数码匹配滤波器之增强型缺陷侦测之系统及方法
- 申请号：TW104137396 申请日：2015-11-12
- 公开(公告)号：TW201626329A 公开(公告)日：2016-07-16
- 发明人： 柯勤 派維爾 , KOLCHIN, PAVEL , 雪芬 尤金 , SHIFRIN, EUGENE
- 申请人： 克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
- 专利权人： 克萊譚克公司,KLA-TENCOR CORPORATION
- 当前专利权人： 克萊譚克公司,KLA-TENCOR CORPORATION
- 代理人： 陳長文
- 优先权： 62/078,802 20141112;14/937,409 20151110
- 主分类号： G06T7/00
- IPC分类号： G06T7/00 ; G01N21/88
摘要：
一樣本之增強型缺陷偵測包含針對一第一光學模式自一樣本之兩個或兩個以上位置獲取來自該樣本之兩個或兩個以上檢驗影像。該缺陷偵測亦基於針對該第一光學模式來自該兩個或兩個以上位置之該兩個或兩個以上檢驗影像，針對一選定缺陷類型而產生一經匯總缺陷分佈，以及計算針對該第一光學模式自該兩個或兩個以上位置獲取之該兩個或兩個以上檢驗影像之一或多個雜訊相關性特性。缺陷偵測進一步包含基於該所產生之經匯總缺陷分佈及該所計算之一或多個雜訊相關性特性而產生用於該第一光學模式之一匹配濾波器。
摘要（中）：
一样本之增强型缺陷侦测包含针对一第一光学模式自一样本之两个或两个以上位置获取来自该样本之两个或两个以上检验影像。该缺陷侦测亦基于针对该第一光学模式来自该两个或两个以上位置之该两个或两个以上检验影像，针对一选定缺陷类型而产生一经汇总缺陷分布，以及计算针对该第一光学模式自该两个或两个以上位置获取之该两个或两个以上检验影像之一或多个噪声相关性特性。缺陷侦测进一步包含基于该所产生之经汇总缺陷分布及该所计算之一或多个噪声相关性特性而产生用于该第一光学模式之一匹配滤波器。
摘要（英）：
Enhanced defect detection of a sample includes acquiring two or more inspection images from a sample from two or more locations of the sample for a first optical mode. The defection detection also generating an aggregated defect profile based on the two or more inspection images from the two or more locations for the first optical mode for a selected defect type and calculating one or more noise correlation characteristics of the two or more inspection images acquired from the two or more locations for the first optical mode. Defect detection further includes the generation of a matched filter for the first optical mode based on the generated aggregated defect profile and the calculated one or more noise correlation characteristics.
公开/授权文献:
- TWI646505B 用於利用一數位匹配濾波器之增強型缺陷偵測之系統及方法 公开/授权日：2019-01-01
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G06 | 计算；推算；计数 |
| ----G06T | 一般的图像数据处理或产生 |
| ------G06T7/00 | 图像分析，例如从位像到非位像 |