基本信息:
- 专利标题： 長方體形狀的單體吸附劑、流體－吸附劑的互相作用製程、氣櫃、及製造氣體源套件之方法
- 专利标题（英）：Monolithic adsorbent of rectangular parallelepiped shape, fluid-adsorbent interactive process, gas cabinet, and method of fabricating a gas source package
- 专利标题（中）：长方体形状的单体吸附剂、流体－吸附剂的互相作用制程、气柜、及制造气体源套件之方法
- 申请号：TW103142215 申请日：2003-11-24
- 公开(公告)号：TW201517974A 公开(公告)日：2015-05-16
- 发明人： 丹尼斯布雷斯多文斯基 , DENNIS BRESTOVANSKY , 麥克伍德詹斯基 , MICHAEL J. WODJENSKI , 荷西亞諾 , JOSE I. ARNO , 唐諾卡路瑟斯 , J. DONALD CARRUTHERS , 菲利普馬洛哥 , PHILIP A. MOROCO
- 申请人： 尖端科技材料股份有限公司 , ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- 专利权人： 尖端科技材料股份有限公司,ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： 尖端科技材料股份有限公司,ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- 代理人： 蔡坤財; 李世章
- 优先权： 10/314,777 20021209
- 主分类号： B01D53/02
- IPC分类号： B01D53/02 ; B01J20/26 ; F17C11/00
摘要：
本發明揭露出包括長方體形狀之流體儲存與配送容器的一種流體儲存與配送裝置，以及包括此流體儲存與配送裝置的一整合性氣體櫃組件與/或排氣櫃中的使用點排氣洗滌器。藉由使用物理吸附劑與化學吸附媒介，氣體櫃可以安全操作來改進，其中從氣體櫃供應的製程氣體則具有毒性或有害特徵。
摘要（中）：
本发明揭露出包括长方体形状之流体存储与配送容器的一种流体存储与配送设备，以及包括此流体存储与配送设备的一集成性气体柜组件与/或排气柜中的使用点排气洗涤器。借由使用物理吸附剂与化学吸附媒介，气体柜可以安全操作来改进，其中从气体柜供应的制程气体则具有毒性或有害特征。
摘要（英）：
A fluid storage and dispensing apparatus including a fluid storage and dispensing vessel having a rectangular parallelepiped shape, and an integrated gas cabinet assembly including such fluid storage and dispensing apparatus and/or a point-of-use ventilation gas scrubber in the vented gas cabinet. By the use of physical adsorbent and chemical sorbent media, the gas cabinet can be enhanced in safety of operation, e.g., where the process gas supplied from the gas cabinet is of a toxic or otherwise hazardous character.
公开/授权文献:
- TWI618569B 長方體形狀的單體吸附劑、流體－吸附劑的互相作用製程、氣櫃、及製造氣體源套件之方法 公开/授权日：2018-03-21